Válvulas de Alto Vácuo

As válvulas de alto vácuo do fabricante MKS Instruments inclui:

  • Válvulas de Controle de Fluxo Upstream – Válvulas de controle proporcionais projetadas para o controle preciso dos fluxos gasosos do processo;
  • Válvula de vácuo gaveta – Otimizada para isolamento de bombas e linhas de desbaste, em aplicações de semicondutores e de vácuo geral;
  • Válvula borboleta para controle de pressão a jusante – Subsistemas de controle de pressão a jusante que integram válvulas de aceleração de escape, controladores digitais avançados e manômetros de processo Baratron®. Essa ferramenta garante maior produtividade, com pontos de ajuste mais rápidos, redução do overshoot / undershoot e maior tempo de atividade, utilizada para estrangular o fluxo de gás que sai do sistema;
  • Válvulas de Isolamento a Vácuo – Válvulas de isolamento confiáveis e bem projetadas, com uma ampla gama de vácuo e aplicações de semicondutores.

Características principais

Válvulas de controle de fluxo upstream

  • Faixas de fluxos de escala total: de 10 a 20000 sccm
  • Tipos de montagem:
    • 0.25 in. Swagelok
    • 0.25 in. (6.35 mm) Tube
    • 0.5 in. Swagelok
    • 4 VCR, male
    • 8 VCR, male
  • Material de Vedação:
    • Viton
    • Metal
    • Kalrez
    • Neoprene
    • Buna-N
  • Fluxo controlável mínimo:
    • 0.1% de escala completa
    • 0.2% de escala completa

Válvula de vácuo gaveta

  • Solução completa de isolamento da bomba de desbaste
  • Excelente custo benefício
  • Opção de aquecimento de alto desempenho
  • Excelente uniformidade de temperature, evitando pontos frios em superfícies internas
  • Prevenção da condensação de efluentes e gases corrosivos
  • Alta confiabilidade e longa vida útil
  • DN80 e DN100> 200.000 ciclos

Válvulas de isolamento a vácuo

  • 17 diferentes tipos de válvulas, variando em tamanho
  • Conexões de ¼” até 10” (NW250) em ambos os ângulos
  • Configurações inline

Ficha técnica

Válvulas de metal de controle de fluxo 148J

  • Faixa de fluxo de escala total: 10 – 30,000 sccm
  • Fluxo controlável mínimo: <2% de escala completa
  • Material de vedação: Metal
  • Tipo de montagem: 4 VCR® macho

Válvulas de controle de alto fluxo 154B

  • Faixa de fluxo de escala total: 20 – 200 slm
  • Fluxo controlável mínimo: 0.1% de escala completa
  • Material de vedação: Elastomer
  • Tipo de montagem:
    • Padrão: ½’’ Swagelok®
    • Opcional: 8 VCR ou 8 VCO® macho

Válvulas de controle de fluxo de uso geral 248D

  • Faixa de fluxo de escala total: 10 – 10,000 sccm
  • Fluxo controlável mínimo:
    • 0.2% de escala completa (<100 sccm)
    • 0.1% de escala completa (100 to 10,000 sccm)
    • <2% de escala completa (>10,000 sccm)
  • Material de vedação: Elastomer
  • Tipo de montagem:
    • Padrão: ½’’ Swagelok®
    • Opcional: 4 VCR ou 4 VCO® macho

Válvulas de metal-selado de controle de fluxo 245

  • Faixa de fluxo de escala total: 10-¹¹ to 6000 Torr
  • Materiais expostos: 304 sst and fine silver
  • Tipo de montagem: ¼’’ (6.35 mm) OD tubulation

Válvula de vácuo gaveta

Válvulas de vácuo do tipo gaveta Série R

  • Dimensão do furo/ flange:
    • DN80
    • DN100
    • DN160
  • Material:
    • Aço inoxidável
    • Alumínio
  • Atuação:
    • Pneumática
    • Manual
    • Pneumática com trava de bloqueio
  • Material do selo:
    • Viton
    • Kalrez
  • Limite de interruptores:
    • Nenhum
    • Chave limitadora – ambas chaves normalmente abertas
    • Chave limitadora – ambas chaves normalmente fechadas
    • Chave limitadora – válvula aberta continuamente
    • Chave limitadora – válvula fechada continuamente
  • Solenoides:
    • Nenhum
    • 24 VDC
    • 12 VDC
  • Opções de aquecimento:
    • Aquecido a 105°C
    • Aquecido a 150°

Válvula borboleta para controle de pressão a jusante

Válvulas de aceleração de escape T2B EtherCAT® com controlador integrado

  • Precisão de 0,25%
  • Taxa de controle: 0,0001% a 100% da escola completa com entrada dupla do transdutor
  • Flange/Furo:
    • KF40/20mm ou 32mm
    • KF50/48mm
    • NW63/60mm
    • NW80/80mm
    • NW100/100mm
  • Tipo de flapper: Não-vedante

Válvulas de aceleração de escape T3B de alta velocidade com controlador integrado

  • Precisão de 0,25%
  • Taxa de controle: 0,0001% a 100% da escola completa com entrada dupla do transdutor
  • Flange/Furo:
    • KF25
    • KF40
    • KF50
    • NW63
    • NW80
    • NW100
  • Tipo de flapper: Nenhum ou PTFE

Válvulas de aceleração de Escape 683B DeviceNet ™ com controlador integrado

  • Controlador integrado
  • Diâmetro interno nominal:
    • 0,779 pol. ID
    • 1,27 pol. ID
    • 1,88 pol. ID
    • 2,00 pol ID
    • 2,36 pol ID
    • 3,00 pol ID
    • 3,87 pol ID
  • Tamanho da flange:
    • NW40
    • NW50
    • NW63
    • NW80
    • NW100
  • Tipo de flange:
    • ISO-KF
    • ISO-MF

Válvulas de regulador de pressão de escape inteligente 153D com controlador integrado

  • Controlador integrado
  • Diâmetro interno nominal:
    • 0,779 pol. ID
    • 1,27 pol. ID
    • 1,88 pol. ID
    • 2,00 pol ID
    • 2,36 pol ID
    • 3,00 pol ID
    • 3,87 pol ID
  • Tamanho da flange:
    • NW40
    • NW50
    • NW63
    • NW80
    • NW100
  • Tipo de flange:
    • ISO-KF
    • ISO-MF

Válvulas do regulador de pressão da exaustão 683B com conjunto de alta velocidade do motor / engrenagem

  • Diâmetro interno nominal:
    • 0,779 pol. ID
    • 1,27 pol. ID
    • 1,88 pol. ID
    • 2,00 pol ID
    • 2,36 pol ID
    • 3,00 pol ID
    • 3,87 pol ID
  • Tamanho da flange:
    • 2,75 in CF
    • NW40
    • NW50
    • NW63
    • NW80
    • NW100
  • Tipo de flange:
    • CF
    • ISO-KF
    • ISO-MF

Válvulas de regulador de pressão da exaustão 253B

  • Furo da válvula / tamanho da flange:
    • 20mm/KF-40
    • 1”/KF-40
    • 2”/KF-50
    • 60mm/NW-63
    • 3”/NW-80
    • 4”/NW-100
  • Tipo de válvula:
    • Selada
    • Não-selada
  • Tipo de flange:
    • CF
    • ISO-KF
    • ISO-MF
  • Comunicação devicenet
  • Velocidade do motor:
    • Rápida
    • Ultra rápida

Válvulas de isolamento a vácuo

Válvulas Poppet de estágio único, low profile com vedação de fole Série LoPro

  • Faixa de vácuo: 1.0 x 10-⁹ Torr
  • Taxa de vazamento de hélio: 1.0 x 10-⁹ std cc/sec
  • Volume do cilindro: 1.2 – 6.4 in³

Válvulas de vácuo de alumínio compacto low profile Série LoPro

  • Faixa de vácuo: 1.0 x 10-⁹ Torr
  • Taxa de vazamento de hélio: 1.0 x 10-⁹ std cc/sec
  • Volume do cilindro: 1.2 – 6.4 in³

Válvulas de isolamento de dois estágios, com partida suave e vedação de fole Low-profile Série LoPro

  • Faixa de vácuo: 1.0 x 10-⁹ Torr
  • Taxa de vazamento de hélio: 1.0 x 10-⁹ std cc/sec
  • Volume do cilindro
    • Principal: 1.2 – 6.4 in³
    • Bypass: 100 in³

Válvulas de isolamento compactas com fole Série Cv

  • Faixa de vácuo: 1.0 x 10-⁹ Torr
  • Taxa de vazamento de hélio: menos de 1.0 x 10-⁹ std cc/sec
  • Volume do cilindro: 0.25 in.3 (4.1 cm³)

Válvulas de Isolamento com Fole Resistente a Corrosão e Vácuo Resistente ao Ozônio Série CRV

  • Faixa de vácuo: 1.0 x 10-⁹ Torr
  • Taxa de vazamento de hélio: 1.0 x 10-⁹ std cc/sec
  • Volume do cilindro: 2.2 – 6.4 in³

Válvulas de Isolamento a Vácuo de Alto Ciclo Vida série HCV

  • Faixa de vácuo: 1.0 x 10-⁹ Torr
  • Taxa de vazamento de hélio: 1.0 x 10-⁹ std cc/sec
  • Volume do cilindro: 1.2 – 160 msec

Válvulas de Isolamento com Fole Elétrico Compacto Série ECv

  • Faixa de vácuo: 10-9 Torr
  • Taxa de vazamento de hélio: Menos de 1.0 x 10-9 std cc/sec
  • Volume molhado: Aproximadamente 1.09 in³ (17.8 cm³)

Válvulas de isolamento de ultra alto vácuo UHV

  • Faixa de vácuo: 10-9 Torr
  • Tipo de Flange: ISO-KF, CF ou Tubo
  • Vedação: Viton

Válvulas de esfera de vácuo manuais e pneumáticas de 2 ou 3 vias

  • Faixa de vácuo: Válvulas de 3 vias: 1 x 10-8 Torr
  • Taxa de vazamento de hélio:
    • 2 vias: Menos que 1 X 10-9 std.cc/sec.
    • 3 vias: < 1 x 10^-9 std. ss/sec
  • Vedação: Viton

Válvulas de esfera de vácuo aquecidas manuais e pneumáticas

  • Taxa de vazamento de hélio: Menos de 1.0 x 10-⁹ std cc/sec
  • Pressão de operação: 80-120 psig
  • Vedação: Viton® (Outras opções disponíveis)

Válvulas de isolamento aquecidas com fole Série Jalapenõ

  • Faixa de vácuo: 10-⁹ Torr
  • Taxa de vazamento de hélio: Menos que 1.0 x 10-⁹ std cc/sec
  • Pressão do ar do cilindro: 60 to 100 psig

Válvulas de isolamento aquecidas com fole low profile Série Jalapenõ LoPro

  • Faixa de vácuo: 10-⁹ Torr
  • Taxa de vazamento de hélio: 1.0 x 10-⁹ std cc/sec
  • Volume do cilindro: 1.2 – 6.4 in³

Válvulas de isolamento de fase única com fole Série 150/160

  • Faixa de vácuo: 15 psig a 10-⁹ Torr
  • Taxa de vazamento de hélio: 1.0 x 10-⁹ std cc/sec
  • Vedação: Viton®

Válvulas de isolamento de estágio único Série V-100

  • Faixa de vácuo: 15 psig a 10-⁹ Torr
  • Taxa de vazamento de hélio: 1.0 x 10-⁹ std cc/sec
  • Volume do cilindro: 1.6 x 10-² ft³ (4.6 x 10-⁴ m³)
  • Vedação: Viton®, Buna, Kalrez, or Chemraz

Válvulas de isolamento aquecidas seladas de dois estágios com fole Série Jalapeño

  • Faixa de vácuo: 10-⁹ Torr
  • Taxa de vazamento de hélio: Menos de 1.0 x 10-⁹ std cc/sec
  • Volume do cilindro: 60 a 100 psig

Válvulas de isolamento e dois estágios de inicio suave com vedação de fole

  • Faixa de vácuo: 10-⁹ Torr
  • Taxa de vazamento de hélio: 1.0 x 10-⁹ std cc/sec
  • Volume do cilindro: 0.25 in³ (4.1 cm³)

Válvulas de acesso diagnóstico in situ Série IDA

  • Vedação: Copper, Viton®, or Chemraz®
  • Tipo de montagem: 8 VCR®

Válvulas de isolação de alto fluxo Série HFV

  • Faixa de vácuo: 10-⁹ Torr
  • Taxa de vazamento de hélio: 1.0 x 10-⁹ std cc/sec
  • Pressão do ar do cilindro: 90 psig ±30 psig

Válvulas de isolamento integrado de duas fases, arranque suave e low profile Série ILP

  • Faixa de vácuo: 10-⁹ Torr
  • Taxa de vazamento de hélio: 1.0 x 10-⁹ std cc/sec
  • Volume do cilindro:
    • Principal: 1.2 – 6.4 in.3,
    • Bypass: 0.16 in3/li>

Válvulas de isolação de alta velocidade

  • Tamanho da porta: NW16 a NW160
  • Tempo de encerramento: <50 to 600 msec

Válvulas de retenção acionadas por fluxo auto-soft Série 225

  • O-ring: Viton®
  • Fluxo de Fechamento: NW40: 6 CFM/sec, NW50: 12 CFM/sec
  • Tempo de Encerramento: NW40: 10 ms, NW50: 12 ms

Válvulas de segurança de sentinela série 145

  • Taxa de vazamento de hélio: <1 X 10-⁹ std cc/sec He
  • Potência: 7 W @115 VAC
  • Vedação: Viton®

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Válvulas de Controle de Fluxo Upstream:

Válvula de vácuo gaveta:

Válvula borboleta para controle de pressão a jusante:

Válvulas de Isolamento a Vácuo:

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