Válvulas de Alto Vácuo
As válvulas de alto vácuo do fabricante MKS Instruments inclui:
- Válvulas de Controle de Fluxo Upstream – Válvulas de controle proporcionais projetadas para o controle preciso dos fluxos gasosos do processo;
- Válvula de vácuo gaveta – Otimizada para isolamento de bombas e linhas de desbaste, em aplicações de semicondutores e de vácuo geral;
- Válvula borboleta para controle de pressão a jusante – Subsistemas de controle de pressão a jusante que integram válvulas de aceleração de escape, controladores digitais avançados e manômetros de processo Baratron®. Essa ferramenta garante maior produtividade, com pontos de ajuste mais rápidos, redução do overshoot / undershoot e maior tempo de atividade, utilizada para estrangular o fluxo de gás que sai do sistema;
- Válvulas de Isolamento a Vácuo – Válvulas de isolamento confiáveis e bem projetadas, com uma ampla gama de vácuo e aplicações de semicondutores.
Características principais
Válvulas de controle de fluxo upstream
- Faixas de fluxos de escala total: de 10 a 20000 sccm
- Tipos de montagem:
- 0.25 in. Swagelok
- 0.25 in. (6.35 mm) Tube
- 0.5 in. Swagelok
- 4 VCR, male
- 8 VCR, male
- Material de Vedação:
- Viton
- Metal
- Kalrez
- Neoprene
- Buna-N
- Fluxo controlável mínimo:
- 0.1% de escala completa
- 0.2% de escala completa
Válvula de vácuo gaveta
- Solução completa de isolamento da bomba de desbaste
- Excelente custo benefício
- Opção de aquecimento de alto desempenho
- Excelente uniformidade de temperature, evitando pontos frios em superfícies internas
- Prevenção da condensação de efluentes e gases corrosivos
- Alta confiabilidade e longa vida útil
- DN80 e DN100> 200.000 ciclos
Válvulas de isolamento a vácuo
- 17 diferentes tipos de válvulas, variando em tamanho
- Conexões de ¼” até 10” (NW250) em ambos os ângulos
- Configurações inline
Ficha técnica
Válvulas de metal de controle de fluxo 148J
- Faixa de fluxo de escala total: 10 – 30,000 sccm
- Fluxo controlável mínimo: <2% de escala completa
- Material de vedação: Metal
- Tipo de montagem: 4 VCR® macho
Válvulas de controle de alto fluxo 154B
- Faixa de fluxo de escala total: 20 – 200 slm
- Fluxo controlável mínimo: 0.1% de escala completa
- Material de vedação: Elastomer
- Tipo de montagem:
- Padrão: ½’’ Swagelok®
- Opcional: 8 VCR ou 8 VCO® macho
Válvulas de controle de fluxo de uso geral 248D
- Faixa de fluxo de escala total: 10 – 10,000 sccm
- Fluxo controlável mínimo:
- 0.2% de escala completa (<100 sccm)
- 0.1% de escala completa (100 to 10,000 sccm)
- <2% de escala completa (>10,000 sccm)
- Material de vedação: Elastomer
- Tipo de montagem:
- Padrão: ½’’ Swagelok®
- Opcional: 4 VCR ou 4 VCO® macho
Válvulas de metal-selado de controle de fluxo 245
- Faixa de fluxo de escala total: 10-¹¹ to 6000 Torr
- Materiais expostos: 304 sst and fine silver
- Tipo de montagem: ¼’’ (6.35 mm) OD tubulation
Válvula de vácuo gaveta
Válvulas de vácuo do tipo gaveta Série R
- Dimensão do furo/ flange:
- DN80
- DN100
- DN160
- Material:
- Aço inoxidável
- Alumínio
- Atuação:
- Pneumática
- Manual
- Pneumática com trava de bloqueio
- Material do selo:
- Viton
- Kalrez
- Limite de interruptores:
- Nenhum
- Chave limitadora – ambas chaves normalmente abertas
- Chave limitadora – ambas chaves normalmente fechadas
- Chave limitadora – válvula aberta continuamente
- Chave limitadora – válvula fechada continuamente
- Solenoides:
- Nenhum
- 24 VDC
- 12 VDC
- Opções de aquecimento:
- Aquecido a 105°C
- Aquecido a 150°
Válvula borboleta para controle de pressão a jusante
Válvulas de aceleração de escape T2B EtherCAT® com controlador integrado
- Precisão de 0,25%
- Taxa de controle: 0,0001% a 100% da escola completa com entrada dupla do transdutor
- Flange/Furo:
- KF40/20mm ou 32mm
- KF50/48mm
- NW63/60mm
- NW80/80mm
- NW100/100mm
- Tipo de flapper: Não-vedante
Válvulas de aceleração de escape T3B de alta velocidade com controlador integrado
- Precisão de 0,25%
- Taxa de controle: 0,0001% a 100% da escola completa com entrada dupla do transdutor
- Flange/Furo:
- KF25
- KF40
- KF50
- NW63
- NW80
- NW100
- Tipo de flapper: Nenhum ou PTFE
Válvulas de aceleração de Escape 683B DeviceNet ™ com controlador integrado
- Controlador integrado
- Diâmetro interno nominal:
- 0,779 pol. ID
- 1,27 pol. ID
- 1,88 pol. ID
- 2,00 pol ID
- 2,36 pol ID
- 3,00 pol ID
- 3,87 pol ID
- Tamanho da flange:
- NW40
- NW50
- NW63
- NW80
- NW100
- Tipo de flange:
- ISO-KF
- ISO-MF
Válvulas de regulador de pressão de escape inteligente 153D com controlador integrado
- Controlador integrado
- Diâmetro interno nominal:
- 0,779 pol. ID
- 1,27 pol. ID
- 1,88 pol. ID
- 2,00 pol ID
- 2,36 pol ID
- 3,00 pol ID
- 3,87 pol ID
- Tamanho da flange:
- NW40
- NW50
- NW63
- NW80
- NW100
- Tipo de flange:
- ISO-KF
- ISO-MF
Válvulas do regulador de pressão da exaustão 683B com conjunto de alta velocidade do motor / engrenagem
- Diâmetro interno nominal:
- 0,779 pol. ID
- 1,27 pol. ID
- 1,88 pol. ID
- 2,00 pol ID
- 2,36 pol ID
- 3,00 pol ID
- 3,87 pol ID
- Tamanho da flange:
- 2,75 in CF
- NW40
- NW50
- NW63
- NW80
- NW100
- Tipo de flange:
- CF
- ISO-KF
- ISO-MF
Válvulas de regulador de pressão da exaustão 253B
- Furo da válvula / tamanho da flange:
- 20mm/KF-40
- 1”/KF-40
- 2”/KF-50
- 60mm/NW-63
- 3”/NW-80
- 4”/NW-100
- Tipo de válvula:
- Selada
- Não-selada
- Tipo de flange:
- CF
- ISO-KF
- ISO-MF
- Comunicação devicenet
- Velocidade do motor:
- Rápida
- Ultra rápida
Válvulas de isolamento a vácuo
Válvulas Poppet de estágio único, low profile com vedação de fole Série LoPro
- Faixa de vácuo: 1.0 x 10-⁹ Torr
- Taxa de vazamento de hélio: 1.0 x 10-⁹ std cc/sec
- Volume do cilindro: 1.2 – 6.4 in³
Válvulas de vácuo de alumínio compacto low profile Série LoPro
- Faixa de vácuo: 1.0 x 10-⁹ Torr
- Taxa de vazamento de hélio: 1.0 x 10-⁹ std cc/sec
- Volume do cilindro: 1.2 – 6.4 in³
Válvulas de isolamento de dois estágios, com partida suave e vedação de fole Low-profile Série LoPro
- Faixa de vácuo: 1.0 x 10-⁹ Torr
- Taxa de vazamento de hélio: 1.0 x 10-⁹ std cc/sec
- Volume do cilindro
- Principal: 1.2 – 6.4 in³
- Bypass: 100 in³
Válvulas de isolamento compactas com fole Série Cv
- Faixa de vácuo: 1.0 x 10-⁹ Torr
- Taxa de vazamento de hélio: menos de 1.0 x 10-⁹ std cc/sec
- Volume do cilindro: 0.25 in.3 (4.1 cm³)
Válvulas de Isolamento com Fole Resistente a Corrosão e Vácuo Resistente ao Ozônio Série CRV
- Faixa de vácuo: 1.0 x 10-⁹ Torr
- Taxa de vazamento de hélio: 1.0 x 10-⁹ std cc/sec
- Volume do cilindro: 2.2 – 6.4 in³
Válvulas de Isolamento a Vácuo de Alto Ciclo Vida série HCV
- Faixa de vácuo: 1.0 x 10-⁹ Torr
- Taxa de vazamento de hélio: 1.0 x 10-⁹ std cc/sec
- Volume do cilindro: 1.2 – 160 msec
Válvulas de Isolamento com Fole Elétrico Compacto Série ECv
- Faixa de vácuo: 10-9 Torr
- Taxa de vazamento de hélio: Menos de 1.0 x 10-9 std cc/sec
- Volume molhado: Aproximadamente 1.09 in³ (17.8 cm³)
Válvulas de isolamento de ultra alto vácuo UHV
- Faixa de vácuo: 10-9 Torr
- Tipo de Flange: ISO-KF, CF ou Tubo
- Vedação: Viton
Válvulas de esfera de vácuo manuais e pneumáticas de 2 ou 3 vias
- Faixa de vácuo: Válvulas de 3 vias: 1 x 10-8 Torr
- Taxa de vazamento de hélio:
- 2 vias: Menos que 1 X 10-9 std.cc/sec.
- 3 vias: < 1 x 10^-9 std. ss/sec
- Vedação: Viton
Válvulas de esfera de vácuo aquecidas manuais e pneumáticas
- Taxa de vazamento de hélio: Menos de 1.0 x 10-⁹ std cc/sec
- Pressão de operação: 80-120 psig
- Vedação: Viton® (Outras opções disponíveis)
Válvulas de isolamento aquecidas com fole Série Jalapenõ
- Faixa de vácuo: 10-⁹ Torr
- Taxa de vazamento de hélio: Menos que 1.0 x 10-⁹ std cc/sec
- Pressão do ar do cilindro: 60 to 100 psig
Válvulas de isolamento aquecidas com fole low profile Série Jalapenõ LoPro
- Faixa de vácuo: 10-⁹ Torr
- Taxa de vazamento de hélio: 1.0 x 10-⁹ std cc/sec
- Volume do cilindro: 1.2 – 6.4 in³
Válvulas de isolamento de fase única com fole Série 150/160
- Faixa de vácuo: 15 psig a 10-⁹ Torr
- Taxa de vazamento de hélio: 1.0 x 10-⁹ std cc/sec
- Vedação: Viton®
Válvulas de isolamento de estágio único Série V-100
- Faixa de vácuo: 15 psig a 10-⁹ Torr
- Taxa de vazamento de hélio: 1.0 x 10-⁹ std cc/sec
- Volume do cilindro: 1.6 x 10-² ft³ (4.6 x 10-⁴ m³)
- Vedação: Viton®, Buna, Kalrez, or Chemraz
Válvulas de isolamento aquecidas seladas de dois estágios com fole Série Jalapeño
- Faixa de vácuo: 10-⁹ Torr
- Taxa de vazamento de hélio: Menos de 1.0 x 10-⁹ std cc/sec
- Volume do cilindro: 60 a 100 psig
Válvulas de isolamento e dois estágios de inicio suave com vedação de fole
- Faixa de vácuo: 10-⁹ Torr
- Taxa de vazamento de hélio: 1.0 x 10-⁹ std cc/sec
- Volume do cilindro: 0.25 in³ (4.1 cm³)
Válvulas de acesso diagnóstico in situ Série IDA
- Vedação: Copper, Viton®, or Chemraz®
- Tipo de montagem: 8 VCR®
Válvulas de isolação de alto fluxo Série HFV
- Faixa de vácuo: 10-⁹ Torr
- Taxa de vazamento de hélio: 1.0 x 10-⁹ std cc/sec
- Pressão do ar do cilindro: 90 psig ±30 psig
Válvulas de isolamento integrado de duas fases, arranque suave e low profile Série ILP
- Faixa de vácuo: 10-⁹ Torr
- Taxa de vazamento de hélio: 1.0 x 10-⁹ std cc/sec
- Volume do cilindro:
- Principal: 1.2 – 6.4 in.3,
- Bypass: 0.16 in3/li>
Válvulas de isolação de alta velocidade
- Tamanho da porta: NW16 a NW160
- Tempo de encerramento: <50 to 600 msec
Válvulas de retenção acionadas por fluxo auto-soft Série 225
- O-ring: Viton®
- Fluxo de Fechamento: NW40: 6 CFM/sec, NW50: 12 CFM/sec
- Tempo de Encerramento: NW40: 10 ms, NW50: 12 ms
Válvulas de segurança de sentinela série 145
- Taxa de vazamento de hélio: <1 X 10-⁹ std cc/sec He
- Potência: 7 W @115 VAC
- Vedação: Viton®