Espectrômetro de Massa (RGA)

RGA Tradicionais

• Espectrômetro de massa rápido e-Vision 2
  • Ideal para problemas básicos de vácuo e monitorar os gases residuais da câmara. Essa ferramenta atende a todos os requisitos tradicionais de um sensor RGA, mas com coleta de dados a uma velocidade muito superior do que os equipamentos da geração anterior
• Espectrômetro de massa flexível Microvision 2
  • Indicado para uma gama mais ampla de aplicações e disponível com uma variedade de faixas de massa com diversas configurações de fonte e filtro de íons. O extensor é projetado para uso em ambientes de alta radiação e com riscos de danos às unidades eletrônicas tradicionais de acoplamento direto

Monitoramento de Processo

• Espectrômetro de massa de alta performance Vision 2000-P
  • Sistema de monitoramento de processo projetado para monitorar os níveis de contaminação dentro das ferramentas de processo de semicondutores e PVD (Physical Vapor Deposition), alertando sobre as condições que podem impactar negativamente o rendimento do produto

Análise de Gases

• Espectrômetro de massa de qudrupolo único para análise de gases Cirrus 3
  • O RGA de quadrupolo único é uma poderosa ferramenta analítica para uma ampla gama de aplicações de análise de gases em laboratórios e indústrias. A família Cirrus, com os sistemas de monitoramento de pressão atmosférica Cirrus 3 e Cirrus 3-XD, é ideal para análise de gás a granel, composição de gases e detecção de gases traços ou contaminação. Essas plataformas versáteis e personalizáveis podem aumentar significativamente sua produtividade, quando combinadas com o software Process Eye Professional e seu controle baseado em receita
• Espectrômetro de massa para análise de gás atmosférico Cirrus 3-XD
  • Sistema de análise de propósito específico para amostragem de gases à pressão atmosférica, incluindo vestígios de contaminantes em gases de processo, vapores de solventes, gases inorgânicos e corrosivos, Freon, gases de headspace e gases nobres. O equipamento apresenta design inovador em várias áreas importantes, garantindo maior produtividade em aplicações de rotina

ION TRAP

• Espectrômetro de massa Ion Trap 835 VQM
  • A tecnologia de espectrômetro de massa de Ion Trap autoresonantes representa uma maneira inteiramente nova de ejetar íons de um coletor de íons eletrostático. O medidor de espectrômetro de massa 835 VQM é um dispositivo de medição ratiométrica que fornece análise composicional detalhada de uma mistura de gás

Espectrômetro de massa rápido e-Vision 2

• Faixa de Massa:
  • 1-100 amu
  • 1-200 amu
• Controle:
  • Interface web que permite o controle, a calibração, operação e exportação de dados
  • Software Easyview que permite o armazenamento de dados do RGA, gera gráficos com anotações e executa vários RGA’s em um único software (opcional)
• Detector:
  • Faraday
  • Multichannel Plate Dual
• Filamentos:
  • Tungstênio
  • Irídio revestido de Tório

Espectrômetro de massa flexível Microvision 2

• Faixa de Massa:
  • 1-100 amu
  • 1-200 amu
  • 1-300 amu
• Controle:
  • Interface web que permite o controle, a calibração, operação e exportação de dados
  • Software Easyview que permite o armazenamento de dados do RGA, gera gráficos com anotações e executa vários RGA’s em um único software (opcional)
  • Software Process Eye Professional oferece controle completo de todos os parâmetros, flexível, vinculação a outros sistemas através de vários mecanismos (como ModBus, ASCII, SECS protocolos, comunicação serial, TCP-IP), coleta de dados personalizada, verificação de condição de alarme e operações de controle de malha fechada
• Detector:
  • Faraday
  • Multichannel Plate Dual
• Filamentos:
  • Tungstênio
  • Irídio revestido de Tório
• Opções disponíveis:
  • Faixa de massa 1-6 amu
  • Fonte de íon UHV
  • Fonte de íon PVD (fechada)
  • Detector duplo multiplicador de elétrons de canal único (SCEM)
  • Filtro Triplo
  • Extensor resistente a radiação de 3 ou 15 metros

Espectrômetro de massa de alta performance Vision 2000-P

• Analisador:
  • MicroVision Plus equipado com uma fonte de íons fechados PVD de alta pressão e filtro duplo (padrão)
  • Tecnologia V-Iens, com detecção consistente e robusta de baixa taxa de ppb em gases desafiadores
• Faixa de Massa:
  • 100 amu
  • 200 amu
  • 300 amu
• Filamentos:
  • Tungstênio
  • Irídio revestido de Tório
• Opções de bomba turbo:
  • Padrão
  • Turbo com ventilação
  • Turbo com purga
  • Turbo com ventilação + purga
• Bellows lengt:
  • 1,5M
  • 3M
• Backing pump:
  • Padrão
  • Bomba de diafragma resistente à corrosão
  • Surge protect
• Controlador de vácuo remoto e comprimento do loom:
  • 1,5m
  • 3m
  • 4m
  • 5m
  • 10m
  • 15m
  • 20m
• Adaptador de entrada:
  • Nenhum
  • CF70 a 4VRC
  • CF70 a KF25
  • CF70 a KF16
  • CF70 a KF40
• Plataforma móvel com uma mesa de computador integrada e componentes eletrônicos no carrinho para mover o RGA com facilidade (opcional)

Espectrômetro de massa de quadrupolo único para análise de gases Cirrus 3

• Tipo de montagem:
  • Rack
  • Desktop
• Faixa de massa:
  • 100amu
  • 200amu
  • 300amu
• Entradas alternativas:
  • Capilar de fluxo padrão Flexil
  • Capilar Flexfluxo Médio (5ml / min)
  • Capilar Flexil de baixo fluxo (0,1 ml / min)
  • Capilar de aço inoxidável a 150ºC
  • Aço inoxidável 300ºC Capilar
  • Capilar de 150ºC de baixo fluxo em aço inoxidável
  • Baixo fluxo 300 Aço Inox 300ºC Capilar
• Opções de bombardeamento:
  • Bomba padrão
  • Bomba padrão com purge
  • Bomba padrão com proteção sobre pressão
  • Bomba corrosiva com purge
  • Bomba corrosiva com proteção sobre pressão
• Controle de pressão:
  • Padrão
  • Controlador de pressão modelo 640 da MKS Instruments

Espectrômetro de massa para análise de gás atmosférico Cirrus 3-XD

• Tipo de montagem:
  • Rack
  • Desktop
• Faixa de massa:
  • 100amu
  • 200amu
  • 300amu
• Opcional corrosivo que inclui a substituição da bomba de diafragma padrão por uma versão preparada de forma corrosiva da mesma bomba. Além disso, uma purga de azoto é adicionada à bomba turbo
• Controlador de pressão modelo 640 da MKS Instruments
• Entradas alternativas:
  • Capilar de fluxo padrão Flexil
  • Capilar Flexfluxo Médio (5ml / min)
  • Capilar Flexil de baixo fluxo (0,1 ml / min)
  • Capilar de aço inoxidável a 150ºC
  • Aço inoxidável 300ºC Capilar
  • Capilar de 150ºC de baixo fluxo em aço inoxidável
  • Baixo fluxo 300 Aço Inox 300ºC Capilar

Espectrômetro de massa Ion Trap 835 VQM

• Controladora:
  • Faixa de massa de 145 ou 300 amu
  • Single Gauge
  • Interface USB 2.0
• Gauge:
  • Faixa de massa de 145 ou 300 amu
  • Detector de multiplicador de elétrons de canal
  • Filamento de irídio revestido com ítria
  • Tipo de gauge nude ou com envelope
• Software suíte 835