Analisador de Gases FTIR & NDIR
Um analisador de gases é imprescindível para uma série de aplicações, como monitoramento, desenvolvimento e otimização de processos, emissões de combustão, desempenho da redução catalítica seletiva, segurança, análise de qualidade de produto, detecção de impurezas, entre outras.
As principais técnicas para a análise de gases são:
- Infravermelho com transformada de Fourier (Fourier Transform Infrared – FTIR) – Os analisadores de gases FTIR são capazes de uma sensibilidade de ppb a ppm para várias espécies de gás em uma variedade de aplicações
- Espectroscopia de filtro sintonizável (Tunable Filter Spectroscopy – TFS) – Os analisadores e gases TFS permitem alta seletividade e medição de estabilidade
- Infravermelho não dispersivo (NDIR) – O analisador de gases NDIR é baseado na absorção de infravermelho, a única técnica aplicável a todos os processos de limpeza de plasma (in situ e remote)
- Espectrometria de massa – Os analisadores de Gases Residuais (RGA) são ferramentas eficazes em analisar as cargas de gáses do sistema resultantes de vazamentos reais, vazamentos virtuais ou vazamento de parede da câmara.
Características principais
Analisador de gases FTIR
- Técnica Infravermelho com transformada de Fourier (Fourier Transform Infrared – FTIR)
- Sensibilidade de 10-100 ppb para muitos gases tóxicos
- COVs, ácidos, bases, hidretos e PFCs.
- Fluxos de efluentes que contêm até 40% de água
- Facilmente transportável, com tempo de configuração em minutos
- Análise simultânea e exibição de mais de 30 gases
- Espectros de calibração permanente que reduzem a necessidade de cilindros de gás caros
- Aquecedor de linha de gás para manter a temperatura adequada antes da amostra entrar na célula de gás
- A resposta patenteada e linear do detector garante que todos os instrumentos mantenham a mesma calibração
- Os diagnósticos de frequência e resolução garantem a calibração constante
- Compensação automática de temperatura e pressão para garantir uma análise precisa
- Software de fácil utilização, permitindo uma operação simples por pessoal minimamente treinado
Analisador de gases TFS
- Técnica espectroscopia de filtro sintonizável (Tunable Filter Spectroscopy – TFS)
- Sistema completo pronto para integração, reduzindo a complexidade e garantindo menor tempo de instalação
- Calibração permanente, reduzindo a necessidade de cilindros de gás de calibração dispendiosos
- Baixo custo de propriedade, com facilidade de instalação e manutenção
- Medição contínua para detecção rápida de mudanças na composição do efluente
- Substitui soluções multi-analisador, reduzindo custos e requisitos de infraestrutura
Analisador de gases NDIR
- Técnica infravermelho não dispersivo (NDIR)
- Tempos de limpeza da câmara reduzidos
- Custo limpo da câmara reduzida
- Eventos mínimos de partículas
- Uso reduzido de NF3
- Consumo de energia reduzido
- Maior rendimento de wafer da ferramenta CVD
- Determinação precisa do ponto final da camada de câmara
- Analisador baseado em filtro de baixo custo
Analisador de gases residual (RGA)
- Técnica espectrometria de massa
- Sensor robusto e facilmente integrado a ambientes de controle automatizado
- Medição de sensibilidade mais altas das espécies de gás presentes no vácuo
- Alta qualidade e agilidade de dados
Ficha técnica
Analisador de gases FTIR online multigás 2030
- Gases e vapores mensuráveis: Maioria das moléculas exceto N2, H2 e O2
- Faixa de medição: Entre 10ppb e 100% de escala completa
- Resolução de espectro: 0.5 – 128cm-¹
- Velocidade de escaneamento: 1 scan/sec @ 0.5cm-¹
- Tempo de escaneamento: 1-300 seg
- Transdutor de pressão: MKS Baratron ®
- Fluxo de amostra: 0,2 – 10 L/min
- Pressão da amostra: 0,01 – 4atm (depende da pressão de calibração)
- Temperatura da amostra: Ambiente até 200ºC
- Conexão: ¼” Swagelok®, ¼” VCR®
- Comunicação: RJ-45 Cross-over Ethernet
- O-rings: Viton® (Outras opções disponíveis)
Analisador de gases TFS online multicomponentes e multigás TFS
- Gases e vapores mensuráveis: todos os gases ativos IR
- Tempo de atualização: 1-120 seg (configurável pelo software)
- Transdutor de pressão: MKS Baratron ®
- Fluxo de amostra: 0,5 L/min
- Pressão da amostra: 1atm ±0.1
- Temperatura da amostra: 10 a 50°C
- Conexão: 1/8 inch Swagelok
- Comunicação: Modbus TCP/IP ou Modbus RS-485
- O-rings: Viton
Analisador de gases NDIR para final de câmara limpa Process Sense
- Faixa de Medição: 1-200 ppm (até 760 Torr)
- Limite de detecção: 1 ppm SiF4
- Tempo de resposta: 1 segundo da taxa de relatório
- Precisão da calibração: ±10%
- Pressão da amostra: 1-760 Torr
- Temperatura da amostra: 25-60°C
- Conexão: NW25, NW40, NW50, entre outros
Analisador de gases de quadrupolo único para análise de gases Cirrus 3
- Tipo de montagem: Rack / Desktop
- Faixa de massa: 100amu / 200amu / 300amu
- Entradas alternativas:
- Capilar de fluxo padrão Flexil
- Capilar Flexfluxo Médio (5ml / min)
- Capilar Flexil de baixo fluxo (0,1 ml / min)
- Capilar de aço inoxidável a 150ºC
- Aço Inoxidável 300ºC Capilar
- Capilar de 150ºC de baixo fluxo em aço inoxidável
- Baixo fluxo 300 Aço Inox 300ºC Capilar
- Opções de bombeamento:
- Bomba padrão
- Bomba padrão com purge
- Bomba padrão com proteção sobre pressão
- Bomba corrosiva com purge
- Bomba corrosiva com proteção sobre pressão
- Controle de pressão:
- Padrão
- Controlador de pressão modelo 640 da MKS Instruments
Analisador de gases de quadrupolo único para análise de gases atmosféricos Cirrus 3-XD
- Tipo de montagem: Rack / Desktop
- Faixa de massa: 100amu / 200amu / 300amu
- Opcional corrosivo que inclui a substituição da bomba de diafragma padrão por uma versão preparada de forma corrosiva da mesma bomba. Além disso, uma purga de azoto é adicionada à bomba turbo
- Controlador de pressão modelo 640 da MKS Instruments
- Entradas alternativas:
- Capilar de fluxo padrão Flexil
- Capilar Flexfluxo Médio (5ml / min)
- Capilar Flexil de baixo fluxo (0,1 ml / min)
- Capilar de aço inoxidável a 150ºC
- Aço Inoxidável 300ºC Capilar
- Capilar de 150ºC de baixo fluxo em aço inoxidável
- Baixo fluxo 300 Aço Inox 300ºC Capilar
