Controlador de Fluxo Massico

O controlador de fluxo de massa possui os mais recentes algoritmos de controle da MKS Instruments, fornecendo resposta rápida (na ordem de 500 milissegundos), precisa e repetível ao ponto de ajuste em toda a faixa de controle do dispositivo. Seu design do sensor térmico patenteado oferece excepcional estabilidade zero.

Entre as séries disponíveis, destaca-se a nova série de fluxímetros GE50A que, além da E/S analógica, apresenta a interface digital que possibilita o controle através de um computador e dispensa a utilização de uma controladora.

Características principais

Controlador de fluxo de massa digital série GE50A

  • Multi-gás e multi-range
  • Taxas de fluxo de 5 a 50.000 sccm
  • Tempo de estabilização menor de 750 milissegundos
  • Controle digital – configuração de fluxo e tipo de gás através do software gratuito
  • Monitoramento da funcionalidade do dispositivo e coleta de dados de desempenho no local
  • Ampla opção de interfaces de entrada e saída digitais (EtherCAT, DeviceNet, Profibus, PROFINET e RS485) ou analógicas (0 a 5 VCC ou 4 a 20 mA)

Controlador de fluxo de massa analógico série 1179A/1179C

  • Taxas de fluxo de 10 sccm a 20 slm
  • Controle analógico – configuração de fluxo através de controladora digital
  • Opções de interfaces analógicas de 9-pin ou 15-pin tipo D

Controlador de fluxo de massa digital Alto Fluxo GE250A

  • Multi-gás e multi-range
  • Taxas de fluxo de 100 a 300 slm
  • Tempo de estabilização de 1 a 2 segundos
  • Controle digital – configuração de fluxo e tipo de gás através do software gratuito
  • Monitoramento da funcionalidade do dispositivo e coleta de dados de desempenho no local
  • Ampla opção de interfaces de entrada e saída digitais (EtherCAT, DeviceNet, Profibus, e RS485) ou analógicas (0 a 5 VCC ou 4 a 20 mA).

Ficha técnica

Taxa de fluxo de escala completa

  • 5 sccm
  • 10 sccm
  • 20 sccm
  • 50 sccm
  • 100 sccm
  • 200 sccm
  • 500 sccm
  • 1000 sccm
  • 2000 sccm
  • 5000 sccm
  • 10000 sccm
  • 20000 sccm
  • 30000 sccm
  • 50000 sccm

Compatibilidade com: (Fittings)

  • Swagelok (4 VCR male, 4 VCO male, 1/4”, 8 VCR male, 1/8”, 1/2”, 3/8”, 6mm, 8mm, 10 mm, 12mm, 8 VCO Male, 4 VCO Male, 4 VCR male, 2 VCR male)
  • KF-16
  • C-Seal

Conectores

  • EtherCAT
  • DeviceNet
  • RS485 (usado com conector 9 pinos)
  • Profibus (compatível com 1480 ou com 1179B)
  • PROFINET
  • Analógico 0 a 5 VDC (conector 9 ou 15 pinos D, com ou sem tied grounds)
  • Analógico 4 a 20 mA (conector 15 pinos D)

Materiais de Vedação

  • Viton
  • Buna-N
  • Neoprene
  • Kalrez
  • EPDM

Tipo de Válvula

  • Normalmente fechado
  • Normalmente aberto

Vídeo


Clique para assistir o vídeo
Controlador de Fluxo Massico

Downloads

Produtos Relacionados

Manômetro Capacitivo Baratron

Manômetro Capacitivo Baratron

Ver Produto
Sensor de vácuo

Sensor de vácuo

Ver Produto
Espectrômetro de massa RGA

Espectrômetro de massa RGA

Ver Produto
Válvula de alto vácuo

Válvula de alto vácuo

Ver Produto