Fontes DC & RF
As fontes geradoras de plasma e fonte de corrente contínua são equipamentos essenciais para os laboratórios de pesquisa e desenvolvimento.
Os geradores de plasma RF fornecem energia confiável em estado sólido para equipamentos de processamento de filmes finos e são componentes vitais dos sistemas de fabricação de semicondutores, que produzem os circuitos integrados (ICs) ou chips exigidos pelos modernos computadores e equipamentos eletrônicos.
Enquanto isso, as fontes de corrente contínua são compactas, modulares, robustas e fáceis de manusear. O manuseio de arco totalmente automático garante os melhores resultados de revestimento e impossibilita erros operacionais.
Características principais
Gerador de Plasma RF Elite™ 13.56 MHz – MKS Instruments
- Refrigerado a ar para custos de instalações mais baixos – não requer conexão com circuito de resfriamento de fábrica
- A eficiência de DC para RF de> 85% diminui o consumo de energia
- Gabinete de meio rack compacto permite montagem direta da ferramenta
- Design de placa única integrada, elimina cabos e conectores
- Baixo custo de propriedade
- Facilidade de instalação
- Confiabilidade excepcional
Gerador de Plasma RF KEINOS™ 2 MHz – MKS Instruments
- Ajuste de frequência dinâmica reduz o tempo de estabilização do plasma
- On-off, level-to-level e modelagem de pulso para máxima flexibilidade do processo
- Controle de energia de pulso para repetibilidade de processo
- Sincronização de pulsos para controle em aplicações multifrequência
- Frequência de pulso de até 50 KHz para requisitos avançados de processo
- Precisão de potência à frente de <± 1,0% do ponto de ajuste
Fonte de Alimentação DC GS 05 – GS 30 – ADL GmbH
- Potência de saída 0,5 – 3,0kW
- Refrigeração a ar
- ½ 19 ″ –case, 3 HU
- Interfaces intercambiáveis
- Display de tensão, corrente e potência
- Operação manual via frontpanel
- Manipulação automática de arco que se ajusta automaticamente aos diferentes parâmetros do processo, de modo que a programação não é necessária. As unidades são projetadas para a montagem em 19 “-racks
Ficha técnica
Gerador de Plasma RF elite™ 13.56 MHz – MKS Instruments
- Frequência: 13. 56 MHz
- Precisão: ±0.005%
- Faixa dinâmica de potência e precisão
- 750W
- 600W
- 300W
- Faixa de impedância de carga: 200 – 750 W, dependendo do modelo
- Saída de harmônica: -30 dBc
- Potência AC de entrada: Fase única, 110VAC- 253VAC, 50 Hz / 60 Hz
- Conector RF: Tipo N
- Interface digital remota: RS-232 via DB9F
- Interface analógica: 25-pin DB25FF
- Faixa de potência dinâmica: 300 W, 600 W, 750W
- Tamanho do rack: elite 750 & 600: 2U, rack completo
Gerador de Plasma RF KEINOS™ 2 MHz – MKS Instruments
- Frequência: 1.985 MHz
- Faixa de ajuste de frequência: ±10%
- Potência de saída: 5kW, 11kW, 13kW
- Precisão: ±5W até 500W – ±1% de 501W a potência máxima
- Faixa de impedância de carga: Ilimitada
- Frequência de pulso: Até 50 KHz
- Tempo de aumento de pulso: <5 µsec
- Tempo de queda de pulso: <5 µsec
- Largura mínima de pulso: 10 µs
- Repetibilidade de energia de pulso: <3%
- Conector RF: SQS padrão (Saída QC)
- Interface: Ethernet, RS232
Fonte de Alimentação DC GS 05 – GS 30 – ADL GmbH
- Potência de saída
- 0,5kW
- 1kW
- 1,5kW
- 2kW
- 3kW
- Tensão de saída 800V
- Corrente de saída
- 0,9A
- 1,7A
- 3A
- 3,5A
- 5,3A
- Controle de corrente, tensão e potência
- Set point 0 a 100% de tensão nominal, corrente e potência
- Precisão de saída +- 1* do valor nominal
- Supressão de arco
- Tempo de supressão 6µs a 3ms automaticamente
- Tempo de atraso 6µs a 10ms automaticamente
- Potência de consumo
- 0,6kVA
- 1,2kVA
- 1,8kVA
- 2,4kVA
- 3,6kVA
Vídeo
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